Компьютерное моделирование зарождения пористости при имплантации ионов инертного газа проведено на основе уравнений кинетической теории начальной стадии фазового перехода - флуктуационной нуклеации. Стохастическая молекулярная динамика, использующая систему уравнений Ито в смысле Стратоновича, позволяет анализировать образование кластеров вакансионно-газовых пор в зависимости от их неравновесных функций распределения как по размерам, так и по декартовым координатам объема слоев. Самоорганизация в фазовом пространстве стохастических динамических переменных возникает при броуновской диффузии вследствие дальнодействующего коллективного упругого взаимодействия пор в решетке при условии «открытой» физической системы имплантации ионов в решетку за короткое время нуклеации (менее 100 микросекунд). Примеры структур представлены для условий флуктуационной неустойчивости фазового перехода в тонком слое карбида кремния при облучении Хе⁺⁺ с энергией ионов 5 -10 кэВ.

кинетическая теория, стохастическое моделирование, пористость, карбид кремния, кластеры пор, структуры самоорганизации

Математическое моделирование в актуальных проблемах науки и техники

Змиевская Галина Ивановна,  ,  orcid.org/0000-0001-6276-3589,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН