Головная страница ИПМ Библиотеки, издания  •  Поиск публикаций  English 
Публикация

Препринт ИПМ № 1, Москва, 2012 г.
Авторы: Бондарева А.Л., Змиевская Г. И.
Численное моделирование дефектов ионного внедрения в многослойный образец и осаждения тонкой пленки на поверхность
Аннотация:
Численно исследовано флуктуационное зародышеобразование как нелинейная стадия фазового перехода в приложении к задачам получения порошков и тонких пленок карбида кремния. Модели конденсации паров и кристаллизации расплава, а также образование пористости субстрата представлены суперпозицией Винеровских случайных процессов: кластеризации зародышей или стохастической диффузией в фазовом пространстве размеров кластеров зародышей и их броуновским движением под действием дальнодействующего самосогласованного потенциала косвенного упругого взаимодействия кластеров зародышей. Математическая модель представлена системой уравнений математической физики в частных производных Колмогорова-Феллера и Эйнштейна-Смолуховского и стохастическими дифференциальными уравнениями Ито-Стратоновича. Разработаны эффективные алгоритмы решения систем стохастических дифференциальных уравнений с нелинейными функционал-коэффициентами. Результаты представлены кинетическими функциями распределения кластеров зародышей по размерам и пространственным координатам для условий модельных численных экспериментов. Исследованы численно условия напряженных состояний в решетке субстрата, предшествующие твердофазной эпитаксии пленок карбида кремния на кремниевом субстрате для оптимизации процесса создания покрытий с заданными свойствами, для контроля однородности и скорости нанесения тонкой пленки.
Ключевые слова:
карбид кремния, порошки, тонкие пленки, кластеризация, броуновское движение, фазовые переходы, зародыши, пористость, самоорганизация, напряжения
Язык публикации: английский,  страниц: 40
Направление исследований:
Математическое моделирование в актуальных проблемах науки и техники
Полный текст на английском языке:
Статистика просмотров (обновляется раз в сутки):
за последние 30 дней — 0 (+0), всего с 01.09.2019 — 16
Сведения об авторах:
  • Бондарева Анна Леонидовна,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН
  • Змиевская Галина Ивановна,  orcid.org/0000-0001-6276-3589,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН