Структурная диагностика поверхностей с использованием вейвлетов.
Аннотация:
В данной работе представлена методика структурной диагностики поверхностей с развитым рельефом, основанная на использовании корреляционного и вейвлет анализов.
Рассмотрены 4 образца, полученные методом ионной имплантации ионов кобальта Co+ в приповерхностный слой кремния при различных дозах облучения. К ним применена разработанная методика. На основе полученных результатов сделаны выводы о регулярности характерных структур для каждого образца.
Язык публикации: русский
Направление исследований:
Математическое моделирование в актуальных проблемах науки и техники