KIAM Main page Web Library  •  Publication Searh  Русский 
Publication

KIAM Preprint № 176, Moscow, 1988
Authors: Бочковков М.В., Махвиладзе Т.М., Пекарчук С.Б., Chetverushkin B.Н.
Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере
Publication language: russian
Export link to publication in format:   RIS    BibTeX
About authors:
  • Бочковков М.В.
  • Махвиладзе Т.М.
  • Пекарчук С.Б.
  • Chetverushkin Boris Nikolaevich,  chetver@imamod.ru,  orcid.org/0000-0003-1216-5438,  KIAM RAS
    		•