Библиотеки, издания
•
Поиск публикаций
English
Публикация
Препринт ИПМ № 176, Москва, 1988 г.
Авторы:
Бочковков М.В.
,
Махвиладзе Т.М.
,
Пекарчук С.Б.
,
Четверушкин Б.Н.
Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере
Язык публикации:
русский
Экспорт ссылки на публикацию в формате:
RIS
BibTeX
Сведения об авторах:
Бочковков М.В.
Махвиладзе Т.М.
Пекарчук С.Б.
Четверушкин Борис Николаевич,
chetver@imamod.ru
,
orcid.org/0000-0003-1216-5438
,
ИПМ им. М.В. Келдыша РАН