Головная страница ИПМ Библиотеки, издания  •  Поиск публикаций  English 
Публикация

Препринт ИПМ № 176, Москва, 1988 г.
Авторы: Бочковков М.В., Махвиладзе Т.М., Пекарчук С.Б., Четверушкин Б.Н.
Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере
Язык публикации: русский
Сведения об авторах:
  • Бочковков М.В.
  • Махвиладзе Т.М.
  • Пекарчук С.Б.
  • Четверушкин Борис Николаевич,  orcid.org/0000-0003-1216-5438,  ИПМ им. М.В. Келдыша РАН