Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере - Бочковков, М.В.; Махвиладзе, Т.М.; Пекарчук, С.Б.; Четверушкин, Б.Н. (Препринты ИПМ им. М.В.Келдыша, 1988)